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闫金凯
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| 石英晶片自动腐蚀机 |
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| 产品名称: 石英晶片自动腐蚀机 |
产品价格: 面议 元 |
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| 晶片自动腐蚀机说明书 1. 电源及功率要求:AC 220V, 1.5KW。 2. 外形尺寸:长(1200)×宽(600)×高(1500) 3. 压缩空气要求:0.4MPa 4. 水:0.1MPa 5. 产品型号:JR-FCA JR-公司代码 F-腐蚀机 C/P-控制系统代码: P-PLC; C-Computer A/B-功能代码:A-基本型;B-增强型 6. 功能简介: 6.1 型号介绍:控制系统分PLC控制和微机控制两种控制器;功能分基本型和增强型,主要区别在于腐蚀溶液的更新校准,A型(基本型)是通过程序对作业结果的计算得到的,需要输入作业数据才能对溶液浓度更新;增强型是通过仪器进行实时测量和计算得到腐液浓度,不需要人工干预,设备会自动根据当前测量结果进行计算和腐蚀。 6.2 温度控制:温度控制通过温控仪对水箱进行加热和温度控制,加热管功率1KW,加热管对水箱内的水进行加热,再通过水循环对腐蚀槽进行加热,温度控制稳定性±2℃,开机预热时间30分钟以内,腐蚀液温度控制在50±2℃。 6.3 水位控制:加热水箱内的水位由水位控制器进行控制,防止干烧和水溢出,加热水箱内的水是设备自动控制的,不需要人员监控。 6.4 腐蚀液控制:腐蚀槽内腐蚀液的容量大约为2000ml,由磁力搅拌器对腐蚀溶液进行搅拌,实现腐蚀溶液的均匀性,磁力搅拌电机速度可调。 6.5 工位控制:有两个作业工位:腐蚀槽和清洗槽工位,工位的转换移动是通过对气缸的控制来实现的;气缸带动腐蚀摆臂到不同的工位,腐蚀蓝挂在腐蚀摆臂上。 6.6 腐蚀控制:在腐蚀摆臂上安装有一个摆动电机,这个电机的作用是在进行腐蚀时,这个电极带动腐蚀蓝摆动,使腐蚀蓝内的晶片散开,保证腐蚀的均匀性。为防止腐蚀液溢出,摆动电机的速度可调。 6.7 控制系统:自动腐蚀机的控制系统采用电脑控制,自动腐蚀程序的控制界面如下:晶片规格选择:在进行腐蚀作业时要选择对应的晶片规格。端口控制:手动实现摆动电机、腐蚀工位、清洗工位的动作。腐液浓度控制:软件实现用户对腐液浓度控制范围,为保证腐蚀晶片的质量,用户在实际应用中都对腐蚀液的浓度进行控制。腐液浓度更新:在实际生产中,腐蚀溶液的浓度总在不断变化,通过腐蚀前后频率的变化,程序自动计算出当前的腐液浓度,点击【更新腐液浓度】按钮,腐液浓度自动更新,为下个批次的作业做好准备。【自动】按钮是进行自动计算和腐蚀,在自动腐蚀参数栏内输入腐蚀开始时晶片的频率和腐蚀的目标频率,程序会进行自动计算,计算出需要的腐蚀时间,如果你同意,点击OK,设备就开始按照计算的结果进行腐蚀。【手动】按钮是进行规定时间的腐蚀,在手动腐蚀时间设置栏内输入需要的腐蚀时间,点击【手动】。 6.8 自动腐蚀机的优点: 1) 节省劳动力,降低劳动强度。 2) 腐蚀操作室封闭性好,有排风装置,减少对员工的身体危害。 3) 操作简单,工艺控制方便。 4) 晶片腐蚀均匀,提高晶片腐蚀质量。 5) 晶片腐蚀精度高,频率一致性好,提高晶片一次腐蚀合格率,降低分频机的作业量。 |
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